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工艺分析
  龙芯科技提供的工艺分析服务结果以报告形式呈现,可以帮助客户深入理解芯片的成分和制造工艺,也可以作为版图设计服务选择生产线的重要参考,包括如下内容:
  ◆  金属层数和厚度、接触孔尺寸、通孔尺寸、钝化层、介质层厚度
  ◆  晶体管结构SEM图像
  ◆  衬底隔离结构、衬底晶格方向
  ◆  栅氧厚度、Ploycide或Silicide结构
  ◆  N阱深度、PN结染色及结构
  ◆  通孔成分、金属层成分
  ◆  阱和有源的掺杂浓度的绝对值、相对值和沟道掺杂浓度
  ◆  其他(客户定制分析要求) 

工艺分析样图

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